喜报 弥费科技国内首家完成晶圆厂整厂AMHS系统验证交付，实现半导体领域系统级交付重大突破

国内领先的自动化物料搬运系统（AMHS）供应商弥费科技宣布，已成功完成面向某头部晶圆制造企业的整厂AMHS系统验证与交付。此举标志着弥费科技成为国内首家实现半导体领域AMHS系统级整体交付的企业，打破了该领域长期由国际巨头主导的局面，是我国半导体产业链核心装备自主化进程中的一项重大里程碑。

AMHS（Automated Material Handling System）是半导体晶圆厂的生命线，负责在复杂的洁净室环境中，高效、精准、无人化地传输晶圆载具（如FOUP）。它如同晶圆厂的“智能血管”与“高速公路网络”，直接关系到工厂的生产效率、产品良率与运营成本。长期以来，高端晶圆厂的整厂AMHS系统设计、集成与交付能力被少数几家国际公司所垄断。

弥费科技此次完成的系统级交付，并非单一设备的供应，而是涵盖了从前期方案设计、软硬件集成、系统仿真测试到现场安装调试、最终验收的全流程。该系统成功通过了客户严苛的工厂验收测试（FAT）和现场验收测试（SAT），各项性能指标均达到国际先进水平，实现了在300mm晶圆产线中与客户现有生产设备（如光刻机、刻蚀机等）及生产执行系统（MES）的无缝对接与稳定运行。

这一突破性成就具有多重深远意义：

1. 产业链自主可控的关键一步：在半导体制造装备“卡脖子”环节取得实质性进展，降低了国内先进晶圆厂建设与升级对外部技术的依赖，增强了供应链安全与韧性。
2. 技术能力获得权威认可：整厂AMHS系统的成功交付，是对弥费科技在机械设计、运动控制、软件算法、系统集成等全栈技术实力的最高规格验证，证明了其已具备与国际一流厂商同台竞技的系统级解决方案能力。
3. 助推产业降本增效：国产AMHS系统的规模化应用，有望显著降低晶圆厂的设备投资与运维成本，同时凭借更贴近本土客户的服务与快速响应能力，提升国内半导体制造业的整体竞争力。
4. 树立行业新标杆：弥费科技的实践为国内半导体设备厂商向更高价值、更复杂的系统级产品迈进提供了成功范本，将激励产业链上下游企业加大研发与创新投入。

随着全球半导体产业格局的深刻调整与中国半导体产业的持续高速发展，对高性能、高可靠性的国产化AMHS需求将日益迫切。弥费科技此次里程碑式的交付，不仅巩固了其在国内AMHS领域的领军地位，更预示着一个由本土力量深度参与、共同塑造的半导体高端装备新时代正在加速到来。公司表示，将继续深耕核心技术，与产业链伙伴紧密合作，为推进中国半导体产业的全面自主化与高质量发展贡献坚实力量。